?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格儀器Quatrz XRD(石英晶體X射線衍射儀--石英棒定向儀)主要應(yīng)用于對石英棒、硅片和坯料進行生產(chǎn)質(zhì)量控制。而根據(jù)樣品對象的不同，Quatrz XRD(石英晶體X射線衍射儀--石英棒定向儀)可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自動石英棒定向儀、全自動石英晶圓盤分析儀和全自動石英晶片分選儀三種型號。

?全自動石英棒定向儀 

樣品：

 --石英棒

特點：

 --*自動化的吸收和校準(zhǔn)石英棒

 --自動上膠轉(zhuǎn)接器板

 --校準(zhǔn)精度：±0.5°(AT & TF)

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?全自動石英晶圓片分析儀

樣品：

 --圓形，長方形和正方形

 --4 x 4毫米至80 x 80毫米(人手處理樣本)

 --20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動樣本處理)

特點:

 --空間質(zhì)量檢查的映射圖選項

 --模塊化設(shè)計，支持未來的自動化升級

 --用于輸入/輸出的標(biāo)準(zhǔn)樣品盒：盒式或疊式

 --可用排序函數(shù)

產(chǎn)量：

 --在標(biāo)準(zhǔn)分選精度下，可高達350片/小時

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?全自動石英晶片分選儀

樣品：

 --圓形，長方形和正方形

 --4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)

 --1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動化選項一)

 --4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動化選項二)

特點：

 --質(zhì)量分組：±7.5 arcsec(低)

 --吞吐量：在標(biāo)準(zhǔn)分揀精度下，每小時多可處理1000個晶片